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音圈电机-半导体行业的核心部件

发布日期:2018/11/28 21:43:14 访问次数:1362

随着半导体行业的蓬勃发展,越来越需要更高效率更稳定的结构形式来满足。直线电机的出现首先解决了老式的伺服电机丝杠的结构形式中的速度以及精度问题。而更高的动态响应特征以及更具效能的电机设计都将对直线电机的要求越来越高。
最常用的直线电机类型是平板式直线电机、U型槽式直线电机和圆柱型直线电机。圆柱型直线电机即音圈电机。音圈电机具有:结构简单、反应速度快、灵敏度高、随动性好、密封性好、不怕污染、适应性强、工作稳定可靠、寿命长等优点,因而在半导体相关装置等产业领域,广泛的使用此类电机。音圈电机的应用市场前景十分广阔。本文同茂直线电机带你认识半导体领域的音圈电机应用。
贴片中应用
音圈电机在贴片流程中需要完成的动作主要有三个部分:拾取、旋转和放置。拾取和旋转动作仅仅需要对运动目标位置有要求,音圈电机的拾取、旋转两个动作均为重复运动。芯片放置是整个贴片流程中最为关键的一个环节。为确保贴片的可靠性,该环节不仅需要高精度的位置控制,还需要对音圈电机直线轴的输出力进行控制,即力/位混合控制。具体到音圈电机的控制方式上,即如何高效、安全地实现音圈电机的软着陆。,后者能有效地实现音圈电机软着陆控制,并在参数整定、程序编写及运动轨迹观测等方面相对前者更有优势。

半导体贴片

引线连接器
与半导体制造装置有关的引线连接器的装置,一般都在Z轴机构和XY工作台机构上使用。Z轴机构,是相对于XY工作台上的IC芯片,用金属线连接电极与引线架而上下运动的机构。XY工作台机构是由于连接位置改变,使放置IC芯片电极与引线架的工作台移动的机构。

音圈电机
有效缓冲器
为确保半导体相关装置中的加工精度,对装置所安放地基的振动以及设在装置上的驱动机器产生的振动必须予以抑制。原来是用弹簧和流体进行被动的或主动的振动抑制,由于音圈电机的结构简单,响应性好等特点,而且对检测的振动能实现抵消作用的操作。这一有效减振器非常适用,由此而得到积极的推广。

双轴十字平台

随着工业4.0的工业步伐,音圈直线电机在半导体行业已经变成不可缺少的核心部件了,标准国内音圈电机峰值推力可以达到5000N,行程能够达到300mm,摆动型音圈电机峰值扭矩达到50N.M,摆动角度大于120。而且音圈直线电机将会得到更多领域的应用,慢慢替代齿轮齿条、丝杆等传统电机。

出处:TM Motion motors

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